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国家高技术研究发展计划(2004AA302G20)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：林青刘卫丽封松林刘奇斌宋志棠更多>>
相关机构：汉城大学中国科学院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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  • 4个上海市科学技...
  • 4个上海市科学技...
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传媒

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  • 3个物理学报
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  • 2个浙江大学学报...

地区

  • 4个上海市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
林青
供职机构：汉城大学
研究主题：FABRICATION SI N4 INSULATOR BURIED
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘奇斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 湿法刻蚀 相变材料 相变存储器 电子束曝光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘卫丽
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋志棠
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
封松林
供职机构：中国科学院上海高等研究院
研究主题：相变存储器 相变材料 相变 电阻 存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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