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武器装备预研基金(413188812)
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
相关作者:
郝一龙
张嵘
贾玉斌
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相关机构:
北京大学
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发文基金:
武器装备预研基金
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相关领域:
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张嵘
供职机构:清华大学
研究主题:微机械 微机械陀螺 转子 微机电系统 电容
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贾玉斌
供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:加速度计 电极 MEMS 光开关 谐振
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 微电子机械系统 硅 加速度计
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