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上海市科学技术委员会科研基金(09XD1404000)
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谭默言
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朱京涛
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朱京涛
供职机构:同济大学
研究主题:多层膜 磁控溅射 极紫外 反射率 周期多层膜
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王占山
供职机构:同济大学
研究主题:多层膜 极紫外 软X射线 反射率 磁控溅射
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谭默言
供职机构:上海应用技术学院理学院
研究主题:反射率 多层膜 高反射率 软X射线 直流磁控溅射
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