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天津市自然科学基金(043801211)

作品数：12 被引量：37H指数：4
相关作者：刘玉岭张建新袁育杰牛新环王娟更多>>
相关机构：河北工业大学天津理工大学更多>>
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领域

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主题

  • 22个化学机械抛光
  • 22个机械抛光
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  • 20个抛光
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机构

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  • 2个天津大学
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  • 1个中国电子科技...
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资助

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传媒

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  • 4个润滑与密封
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  • 4个稀有金属

地区

  • 22个天津市
  • 1个河北省
共 23 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张建新
供职机构：天津工业大学
研究主题：等离子喷涂 反应等离子喷涂 复合粉 涂层 TIO
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王娟
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 硅溶胶 抛光液 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁育杰
供职机构：天津理工大学
研究主题：太阳电池 单模光纤 微晶硅 光纤 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张楷亮
供职机构：天津理工大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘长宇
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：化学机械抛光 抛光液 ULSI CMP 硬盘
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张远祥
供职机构：河北工业大学
研究主题：臭氧 表面活性剂 硅片 硅衬底 微电子工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李薇薇
供职机构：河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP ULSI 超大规模集成电路 化学机械抛光 化学机械全局平面化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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