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中国工程物理研究院科学技术发展基金(2009B0403044)
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13
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刘恒
王超
吴嘉丽
陈光焱
苏伟
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刘恒
供职机构:南京信息工程大学电子与信息工程学院
研究主题:加速度计 微机械 水含量 微加速度计 微机械电子系统
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王超
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:热电池 惯性开关 阴极材料 脉冲激光沉积 微机电系统
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吴嘉丽
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:惯性开关 微机电系统 G值 LPCVD 多晶硅薄膜
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陈光焱
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:惯性开关 微机电系统 MEMS G值 开关
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张富堂
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:信号处理 微机械电子系统 微加速度计 小波变换 平均法
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张凤田
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微气压传感器 惯性开关 微热板 测试系统 谐振
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苏伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微加速度计 微电子机械系统 微机电系统 加速度计 折叠波导
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何晓平
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微加速度计 加速度计 灵敏度 谐振 刚度
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孟瑞丽
供职机构:南京信息工程大学
研究主题:加速度计 微机械 电场传感器 微机械传感器 同频干扰
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刘显学
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 加速度计 石英 微机械陀螺 微加速度计
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