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国家自然科学基金(60876081)

作品数：3 被引量：5H指数：1
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李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：色谱柱 热导检测器 固定相 微机电系统 气相色谱柱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱慧慧
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：非致冷红外探测器 红外探测器阵列 电路噪声 非制冷红外焦平面阵列 二极管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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