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国家自然科学基金(60476010)

作品数：2 被引量：4H指数：1
相关作者：屈新萍茹国平郑宏兴王光伟李炳宗更多>>
相关机构：复旦大学天津工程师范大学更多>>
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地区

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共 9 条 记 录，以下是 1-9
屈新萍
供职机构：复旦大学
研究主题：微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 纳米压印技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
茹国平
供职机构：复旦大学微电子研究院
研究主题：固相反应 NISI 微电子 SI 金属栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭晶晶
供职机构：复旦大学
研究主题：扩散阻挡层 铜互连 钌 TAN 籽晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周觅
供职机构：复旦大学
研究主题：钌 TAN 扩散阻挡层 籽晶 铜互连
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢琦
供职机构：复旦大学
研究主题：扩散阻挡层 铜互连 铜 微电子 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李炳宗
供职机构：复旦大学
研究主题：固相反应 硅化物 自对准 NISI SI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑宏兴
供职机构：天津工程师范大学
研究主题：热退火 ZNO 光电特性 光电器件 ZNO薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王光伟
供职机构：天津职业技术师范大学电子工程学院
研究主题：固相反应 太阳能 晶粒生长 非晶硅 太阳灶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈韬
供职机构：复旦大学
研究主题：氧化锌纳米棒 微电子 场效应晶体管 阳极氧化铝模板 旋涂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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