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天津市自然科学基金(0438014211)

作品数:3 被引量:4H指数:1
相关作者:刘玉岭宁培桓唐文栋田军项霞更多>>
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河北工业大学
研究主题:数值模拟 性能研究 机器人 大学生 高校
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河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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河北工业大学信息工程学院
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