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吕楠

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 3个电子电信
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  • 1个电气工程
  • 1个自然科学总论

主题

  • 3个电路
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传媒

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地区

  • 3个浙江省
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罗凯升
供职机构：浙江大学
研究主题：光学邻近校正 集成电路 成品率 层次化结构 层次管理
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
耿臻
供职机构：浙江大学
研究主题：分辨率增强 光刻 纳米级集成电路 鲁棒性 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
史峥
供职机构：浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所
研究主题：光学邻近校正 集成电路 版图 光刻 成品率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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