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李恒一
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院研究生院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
罗先刚
中国科学院光电技术研究所
王长涛
中国科学院光电技术研究所
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罗先刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
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王长涛
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
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