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王同庆

作品数：90 被引量：56H指数：5
供职机构：清华大学更多>>
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相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺电子电信生物学更多>>

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地区

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  • 3个山东省
共 35 条 记 录，以下是 1-10
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何永勇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵德文
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈攀
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 化学机械抛光 机械手 修整
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
门延武
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 压力源 晶圆 半导体制造技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶佩青
供职机构：清华大学
研究主题：数控系统 直线电机 数控机床 多叶光栅 数控加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张辉
供职机构：清华大学
研究主题：直线电机 多叶光栅 电子设备 公共建筑 存储介质
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许振杰
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 机械手 抛光液 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴召辉
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 刷洗 毛刷 机械手 组件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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