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高津平
作品数:
7
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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相关领域:
电子电信
机械工程
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合作作者
刘玉倩
中国电子科技集团公司第四十五研...
张伟锋
中国电子科技集团公司第四十五研...
刘永进
中国电子科技集团公司第四十五研...
刘玉倩
中国电子科技集团公司第四十五研...
关宏武
中国电子科技集团公司第四十五研...
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刘玉倩
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:光刻版 系统设计 多线程 以太网 PLC
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张伟锋
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP ZETA电位 晶圆清洗 兆声清洗 CCD
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所获资助
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关宏武
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:静电 半导体 掩模版 机械手 换版
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宋文超
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:全自动 光刻版 半导体 自动设备 清洗机
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刘玉倩
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CAN总线 CANOPEN协议 广度优先搜索 晶粒 对象字典
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刘永进
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:光刻版 集成电路 全自动 单晶圆 喷头
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