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刘玉倩
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:光刻版 系统设计 多线程 以太网 PLC
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张伟锋
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP ZETA电位 晶圆清洗 兆声清洗 CCD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
关宏武
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:静电 半导体 掩模版 机械手 换版
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋文超
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:全自动 光刻版 半导体 自动设备 清洗机
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刘玉倩
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CAN总线 CANOPEN协议 广度优先搜索 晶粒 对象字典
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刘永进
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:光刻版 集成电路 全自动 单晶圆 喷头
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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