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2025年3月26日星期三

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洪培真: 作品数：57 被引量：0H指数：0; 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>; 发文基金：国家科技重大专项更多>>; 相关领域：自动化与计算机技术电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

殷华湘中国科学院微电子研究所
赵超中国科学院微电子研究所
李俊峰中国科学院微电子研究所
李春龙中国科学院微电子研究所
秦长亮中国科学院微电子研究所

作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域

领域

25个电子电信
18个自动化与计算...
17个文化科学
15个电气工程
15个一般工业技术
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13个理学
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9个化学工程
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6个机械工程
6个核科学技术
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3个建筑科学
3个轻工技术与工...
3个医药卫生
2个生物学
2个环境科学与工...
1个天文地球

主题

25个栅极
22个堆叠
21个氮化
21个氮化硅
21个导体
21个叠层
21个掩模
21个掩膜
20个淀积
20个选择性刻蚀
19个氧化层
19个源区
18个电极
18个电路
18个多晶
18个氧化物
17个电阻
16个叠层结构
16个多晶硅
13个电荷

机构

26个中国科学院微...
9个清华大学
4个中国科学院
3个北京大学
3个中国科学技术...
3个中国科学院微...
3个中国科学院大...
1个北京航空航天...
1个浙江大学
1个中北大学
1个杭州中科微电...
1个华进半导体封...
1个江苏物联网研...

资助

14个国家自然科学...
13个国家科技重大...
10个国家重点基础...
4个国家高技术研...
3个北京市科技新...
3个中国博士后科...
3个中国科学院战...
3个中国科学院知...
2个北京市自然科...
2个国家科技攻关...
2个“九五”国家...
2个国家电网公司...
2个国家教育部博...
2个国家攀登计划
2个中国科学院“...
2个中国科学院科...
2个中国科学院知...
1个国家社会科学...
1个江苏省自然科...
1个山西省自然科...

传媒

20个微纳电子技术
13个真空科学与技...
10个半导体技术
10个微电子学
9个中国科技成果
6个Journa...
6个物理学报
5个微电子学与计...
5个电子器件
5个功能材料与器...
5个半导体光电
5个第十二届全国...
4个电子学报
4个传感技术学报
4个电子工业专用...
3个光子学报
3个材料导报
3个科技创新导报
2个红外与激光工...
2个半导体情报

地区

26个北京市

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殷华湘: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：半导体器件沟道栅极衬底鳍片; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

赵超: 供职机构：清华大学; 研究主题：半导体器件衬底栅极沟道金属硅化物; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

李俊峰: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：半导体器件刻蚀衬底沟道栅极; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

李春龙: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：半导体器件衬底刻蚀掩模粗糙度; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

秦长亮: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：半导体器件栅极沟道鳍片侧墙; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

徐秋霞: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：金属栅半导体器件刻蚀沟道堆叠; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

霍宗亮: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：存储器沟道闪存介质层电压; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

尹海洲: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：半导体器件半导体结构沟道鳍片栅极; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

靳磊: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：铁电存储器铁电叠层介质层 NAND型; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

孟令款: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：刻蚀掩模半导体器件粗糙度电子束光刻; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

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