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石磊
作品数:
3
被引量:4
H指数:2
供职机构:
上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
机械工程
一般工业技术
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合作作者
朱军
上海交通大学微纳米科学技术研究...
李建华
上海交通大学微纳米科学技术研究...
陈迪
上海交通大学微纳米科学技术研究...
倪智萍
上海交通大学微纳米科学技术研究...
李以贵
上海交通大学微纳米科学技术研究...
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李建华
供职机构:上海交通大学
研究主题:网络安全 信息安全 网络 入侵检测 计算机网络
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朱军
供职机构:上海交通大学
研究主题:微针 MEMS 微电子机械系统 SU-8胶 光刻胶
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研究领域
倪智萍
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题:SU-8 微结构 高深宽比 微机电系统 光刻胶
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陈迪
供职机构:上海交通大学
研究主题:微流控芯片 微机电系统 微电子机械系统 MEMS LIGA技术
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李以贵
供职机构:上海应用技术学院理学院
研究主题:微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
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刘景全
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 压电 微机电系统 MEMS 微针
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