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曹明威

作品数：6 被引量：31H指数：2
供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金北京市科技计划项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

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王军波
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电化学 地震检波器 谐振式 电极 谐振式压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈德勇
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电化学 谐振梁 谐振式压力传感器 地震检波器 谐振式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张健
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：谐振式压力传感器 MEMS压力传感器 真空封装 阳极键合 绝缘体上硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦海龙
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：谐振式压力传感器 阳极键合 绝缘体上硅 微电子机械系统 差分检测
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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