2025年1月31日
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国石磊
作品数:
6
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H指数:1
供职机构:
清华大学
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
秦健
湖南大学物理与微电子科学学院
刘泽文
清华大学
司卫华
清华大学
田昊
大连理工大学机械工程学院微纳米...
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秦健
供职机构:清华大学
研究主题:生物医学 MEMS 传统加工方法 衬底材料 衬底
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刘泽文
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
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田昊
供职机构:大连理工大学
研究主题:微加热器 观赏性 可折叠 支撑体 展台
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司卫华
供职机构:清华大学
研究主题:纳米压印 模版 紫外 热压印 反应离子刻蚀
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