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中国工程物理研究院电子工程研究所
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合作作者
高杨
重庆大学光电工程学院光电技术及...
官承秋
西南科技大学信息工程学院
周斌
西南科技大学信息工程学院
何移
西南科技大学信息工程学院
刘显学
中国工程物理研究院电子工程研究...
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高杨
供职机构:重庆大学
研究主题:微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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官承秋
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微机械陀螺 流量传感器 微电子机械系统 测试装置 信号接口
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何移
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:薄膜体声波谐振器 FBAR 流量传感器 微电子机械系统 有限元分析
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周斌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:薄膜体声波谐振器 FBAR 流量传感器 微电子机械系统 有限元分析
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刘显学
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 加速度计 石英 微机械陀螺 微加速度计
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刘婷婷
供职机构:西南科技大学信息工程学院
研究主题:微电子机械系统 微通道热沉 微通道 微流体 MEMS
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周浩
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微机械陀螺 加速度计 解耦 微机械 差分电容
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唐海林
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微机械陀螺 测试装置 信号接口 锚点 电源接口
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席仕伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
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