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张乐敏
作品数:
4
被引量:1
H指数:1
供职机构:
哈尔滨工业大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
金属学及工艺
电子电信
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合作作者
刘延杰
哈尔滨工业大学机电工程学院机器...
孙立宁
哈尔滨工业大学机电工程学院机器...
刘曰涛
山东理工大学机械工程学院
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刘延杰
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:硅片 硅片传输机器人 机器人 Z轴 压电陶瓷
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孙立宁
供职机构:苏州大学
研究主题:机器人 压电陶瓷 并联机器人 柔性铰链 微操作
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刘曰涛
供职机构:山东理工大学机械工程学院
研究主题:压电陶瓷 超声 阳极键合 硅片 芯片
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