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王颖
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6
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供职机构:
北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
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合作作者
李婷
北京大学信息科学技术学院微米纳...
张大成
北京大学信息科学技术学院微电子...
闫桂珍
北京大学信息科学技术学院微米纳...
田大宇
北京大学信息科学技术学院微米纳...
王翔
北京大学信息科学技术学院微电子...
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李婷
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
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张大成
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
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田大宇
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
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闫桂珍
供职机构:北京大学
研究主题:锚点 微机械 微机械陀螺 陀螺 玻璃衬底
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王翔
供职机构:北京航空航天大学电子信息工程学院
研究主题:共晶键合 面积优化 金 硅 蛋白质芯片
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王玮
供职机构:北京大学信息科学技术学院微电子研究院
研究主题:硅 数据挖掘 探测器 共晶键合 金属薄膜
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吕知秋
供职机构:北京大学
研究主题:SI PECVD 驻极体 双层膜 MEMS开关
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张锦文
供职机构:北京大学
研究主题:金刚石 驻极体 放射性同位素 电学隔离 碳纳米管
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董海峰
供职机构:北京大学
研究主题:玻璃衬底 阳极键合 电极 加速度计 微机电系统
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贾玉斌
供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:加速度计 电极 MEMS 光开关 谐振
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