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王文襄
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复旦大学
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一般工业技术
自动化与计算机技术
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合作作者
沈绍群
复旦大学
鲍敏杭
复旦大学
薛伟
温州大学
杨恒
复旦大学
周玉美
复旦大学
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沈绍群
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院
研究主题:硅 压力传感器 各向异性腐蚀 微机械结构 微压传感器
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鲍敏杭
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 压力传感器 传感器 微机械 各向异性腐蚀
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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周玉美
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 掩模 微压传感器
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杨恒
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
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窦凤春
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 掩模 微压传感器
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陈蓓蓓
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 掩模 微压传感器
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季红
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 掩模 微压传感器
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沈嘉英
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 微压传感器
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薛伟
供职机构:温州大学
研究主题:激光 激光加工 激光冲击波 激光熔覆 激光冲击
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