2025年1月31日
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贺佳
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
供职机构:
东北大学机械工程与自动化学院
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
张以忱
东北大学机械工程与自动化学院
韩晶雪
东北大学机械工程与自动化学院
李建军
东北大学机械工程与自动化学院
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李建军
供职机构:沈阳真空技术研究所
研究主题:真空冶金 直流磁控溅射 炉体 电极 磁控溅射
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韩晶雪
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:抽速 MONTE_CARLO方法 MONTE_CARLO MATLAB 干式
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所获资助
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张以忱
供职机构:东北大学
研究主题:真空 真空系统 真空技术 磁控溅射 非平衡磁控溅射
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