2025年1月15日
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赵星梅
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北京七星华创电子股份有限公司
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发文基金:
河北省高等学校科学技术研究指导项目
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相关领域:
自动化与计算机技术
医药卫生
理学
动力工程及工程热物理
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合作作者
董金卫
北京七星华创电子股份有限公司
钟华
北京七星华创电子股份有限公司
赵燕平
北京七星华创电子股份有限公司
孙少东
北京七星华创电子股份有限公司
李春雷
北京七星华创电子股份有限公司
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董金卫
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 立式 氧化炉 热偶 半导体
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钟华
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:氧化炉 炉体 立式 立式炉 硅片
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赵燕平
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:立式 炉体 立式炉 半导体 热处理炉
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孙少东
供职机构:淮安信息职业技术学院
研究主题:炉体 半导体 立式 半导体工艺设备 立式炉
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李春雷
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:前驱物 三氧化二铝 原子层沉积 预热 衬底
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兰云峰
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体 卡紧 自定位 瓶体 锐角
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苏艳波
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:吹扫 分配网络 气体 瓶体 薄膜沉积技术
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魏景峰
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体 晶片 硅片 滑移 立式
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林松
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:循环风机 晶片 氮气 换气 控制系统
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彭文芳
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:前驱物 硅片表面 化学吸附 温度梯度 真空系统
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