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郭辉
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供职机构:
北京大学信息科学技术学院
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合作作者
张海霞
北京大学微电子学研究院
李志宏
北京大学信息科学技术学院微米纳...
张国炳
北京大学信息科学技术学院微米纳...
王煜
北京大学信息科学技术学院微米纳...
田大宇
北京大学信息科学技术学院微米纳...
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张海霞
供职机构:北京大学
研究主题:发电机 电极 MEMS 反应离子刻蚀 摩擦式
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李志宏
供职机构:北京大学信息科学技术学院
研究主题:MEMS 硅 VLSI 微机电系统 微电子机械系统
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张国炳
供职机构:北京大学
研究主题:硅化物 多晶硅 离子注入 微机电系统 MEMS
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田大宇
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
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王煜
供职机构:北京大学
研究主题:应力控制 MEMS SIC 抗腐蚀 离子注入
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 微电子机械系统 硅 加速度计
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肖志勇
供职机构:北京大学微电子学研究院
研究主题:MEMS 微电子机械系统 CAD 点化 系统设计
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周荣春
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 操作系统 CAD系统 微电子机械系统 半导体加工
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刘伟
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:暴雨 急流 数值模拟 沈阳桃仙机场 中尺度对流系统
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徐嘉佳
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS器件 MEMS 版图 集成化 气体传感器
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