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马超

作品数：6 被引量：0H指数：0
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传媒

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崔娟娟
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体设备 硅片 控制精度 温度控制装置 温度均匀性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程朝阳
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 氧化炉 立式 扩散炉 立式炉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘俊豪
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：网络控制系统 一致有界性 非线性系统 SUB 编码处理
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵星梅
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：立式 氧化炉 炉体 硅片 晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭文芳
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：前驱物 硅片表面 化学吸附 温度梯度 真空系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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