2025年1月29日
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王丽荣
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供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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交通运输工程
自动化与计算机技术
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合作作者
宋新丰
北京七星华创电子股份有限公司
董金卫
北京七星华创电子股份有限公司
孙少东
北京七星华创电子股份有限公司
周厉颖
北京七星华创电子股份有限公司
白鹏
北京七星华创电子股份有限公司
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宋新丰
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体设备 排气 半导体 阀门 冷却水
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董金卫
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 立式 氧化炉 热偶 半导体
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孙少东
供职机构:淮安信息职业技术学院
研究主题:炉体 半导体 立式 半导体工艺设备 立式炉
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周厉颖
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 半导体 半导体工艺设备 保温层 风道
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白鹏
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:控制模块 开关装置 经济损失 门锁 人身安全问题
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刘红丽
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体设备 排气 炉体 控制装置 微环境
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张军奎
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:阀门 冷却水 供水管路 排气 水冷系统
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钟华
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:氧化炉 炉体 立式 立式炉 硅片
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张芳
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体设备 硅片 参量 LPC 氧化炉
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赵晨博
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体设备 凹陷 密封条 门框 门板
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