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刘远宏

作品数：2 被引量：0H指数：0
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合作作者

主题

  • 3个热膨胀
  • 3个热膨胀系数
  • 3个加热板
  • 3个半导体
  • 3个薄膜沉积技术
  • 2个接触面积
  • 2个基底
  • 2个基底处理
  • 2个基底压力
  • 2个传送装置
  • 1个镀膜
  • 1个真空
  • 1个真空镀膜
  • 1个消耗量
  • 1个空腔
  • 1个溅射
  • 1个溅射设备
  • 1个测量方式
  • 1个成膜

机构

  • 4个北京京东方光...

地区

  • 4个北京市
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陈万海
供职机构：北京京东方光电科技有限公司
研究主题：薄膜沉积技术 传送装置 成膜 半导体 加热板
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王剑
供职机构：北京京东方光电科技有限公司
研究主题：薄膜沉积技术 半导体 加热板 热膨胀系数
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
樊海洋
供职机构：北京京东方光电科技有限公司
研究主题：传送装置 基底压力 基底处理 基底 接触面积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李晓飞
供职机构：北京京东方光电科技有限公司
研究主题：测量方式 薄膜沉积技术 半导体 溅射设备 加热板
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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