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王喆
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供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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化学工程
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合作作者
钟华
北京七星华创电子股份有限公司
赵星梅
北京七星华创电子股份有限公司
董金卫
北京七星华创电子股份有限公司
张豹
北京七星华创电子股份有限公司
林松
北京七星华创电子股份有限公司
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钟华
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:氧化炉 炉体 立式 立式炉 硅片
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赵星梅
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:立式 氧化炉 炉体 硅片 晶片
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董金卫
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 立式 氧化炉 热偶 半导体
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张豹
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:卡盘 夹持 硅片 晶片 机械手
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林松
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:循环风机 晶片 氮气 换气 控制系统
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