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刘红丽
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供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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水利工程
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合作作者
康飞
北京七星华创电子股份有限公司
邱江虹
北京七星华创电子股份有限公司
王丽荣
北京七星华创电子股份有限公司
赵燕平
北京七星华创电子股份有限公司
侯建明
北京七星华创电子股份有限公司
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康飞
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 传送 半导体设备 装卸 氮气
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邱江虹
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 传送 半导体设备 装卸 氮气
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赵燕平
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:立式 炉体 立式炉 半导体 热处理炉
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王丽荣
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体设备 排气 半导体 门锁 阀门
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侯建明
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 半导体工艺设备 冷却介质 进排风系统 阀门驱动装置
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宋新丰
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体设备 排气 半导体 阀门 冷却水
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邱江红
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:保温层 风冷 风道 环槽 炉膛
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