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侯莉颖
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中国科学院上海光学精密机械研究所
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自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
黄立华
中国科学院上海光学精密机械研究...
黄惠杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
何国俊
中国科学院上海光学精密机械研究...
胡小邦
中国科学院上海光学精密机械研究...
彭雪峰
中国科学院上海光学精密机械研究...
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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黄立华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:免疫层析 上转换发光 光刻机 试纸条 金标
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何国俊
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光学系统 处理电路 分析仪 和光 光束
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胡小邦
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 镜面 调整架 测量方法 光源
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曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
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王俊
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光防护 非线性光学 非线性光学性质 二硫化钼 光刻机
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任冰强
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 光束 照明系统 光阑 焦斑
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马兴华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:狭缝 测试系统 步进 大行程 边界面
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彭雪峰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:标定方法 光刻机 测量方法 衍射效率 衍射图样
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张友宝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:检漏装置 生物检测 安全数码卡 光纤 信号处理系统
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