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郭振宇: 作品数：14 被引量：0H指数：0; 供职机构：清华大学更多>>; 相关领域：理学自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

何永勇清华大学
路新春清华大学
王同庆清华大学
裴召辉清华大学
雒建斌清华大学

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地区

17个北京市

共 17 条记录，以下是 1-10

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路新春: 供职机构：清华大学; 研究主题：化学机械抛光晶圆抛光液抛光垫抛光; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

何永勇: 供职机构：清华大学; 研究主题：晶圆故障诊断化学机械抛光抛光液旋转机械; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

许振杰: 供职机构：清华大学; 研究主题：晶圆修整器机械手抛光液抛光; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

裴召辉: 供职机构：清华大学; 研究主题：晶圆刷洗毛刷机械手组件; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

雒建斌: 供职机构：清华大学; 研究主题：化学机械抛光润滑薄膜润滑抛光液纳米级; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

沈攀: 供职机构：清华大学; 研究主题：晶圆修整器化学机械抛光机械手修整; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

王同庆: 供职机构：清华大学; 研究主题：化学机械抛光晶圆抛光液 CMP 抛光垫; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

张莉瑶: 供职机构：清华大学; 研究主题：干燥装置晶圆组件装载装置刷洗; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

田芳馨: 供职机构：清华大学; 研究主题：晶圆化学机械抛光工业以太网工控机 CMP; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

徐海滨: 供职机构：清华大学; 研究主题：晶圆干燥装置机械手组件装载装置; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

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