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袁明权
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33
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H指数:4
供职机构:
中国工程物理研究院电子工程研究所
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发文基金:
中国工程物理研究院科学技术发展基金
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中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金
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相关领域:
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合作作者
张茜梅
中国工程物理研究院电子工程研究...
武蕊
中国工程物理研究院电子工程研究...
屈明山
中国工程物理研究院电子工程研究...
孙远程
中国工程物理研究院电子工程研究...
彭勃
中国工程物理研究院电子工程研究...
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张茜梅
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统 键合
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武蕊
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 键合 固有频率
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孙远程
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度传感器 固有频率 压敏电阻 微机械加速度传感器 侵彻
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屈明山
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 固有频率 键合
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彭勃
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
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王海青
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 固有频率 键合
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高杨
供职机构:重庆大学
研究主题:微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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刘婷婷
供职机构:西南科技大学信息工程学院
研究主题:微电子机械系统 微通道热沉 微通道 微流体 MEMS
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熊壮
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 加速度计 MEMS 惯性开关 极板
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王雄
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:共形 空腔 读出电路 顶面 体声波
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