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沈勤我
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49
被引量:62
H指数:4
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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国家自然科学基金
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合作作者
林成鲁
中国科学院上海微系统与信息技术...
沈鸿烈
中国科学院上海冶金研究所上海微...
邹世昌
中国科学院上海冶金研究所上海微...
刘卫丽
中国科学院上海微系统与信息技术...
李铁
传感技术联合国家重点实验室
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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沈鸿烈
供职机构:南京航空航天大学
研究主题:磁控溅射 太阳电池 多晶硅 巨磁电阻 多晶硅薄膜
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邹世昌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子束 硅 SOI 巨磁电阻
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刘卫丽
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
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李铁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
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王连卫
供职机构:华东师范大学
研究主题:微通道板 硅 多孔硅 微通道 电化学刻蚀
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宋志棠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
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祝向荣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:巨磁电阻 巨磁电阻效应 LA CO/CU 低场
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封松林
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:相变存储器 相变材料 相变 电阻 存储器
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研究领域
林梓鑫
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 低剂量 硅 SIMOX
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