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沈修成
作品数:
12
被引量:29
H指数:3
供职机构:
上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
上海市科委纳米专项基金
上海市科学技术委员会资助项目
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相关领域:
机械工程
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自动化与计算机技术
一般工业技术
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合作作者
刘景全
上海交通大学微纳米科学技术研究...
王亚军
上海交通大学微纳米科学技术研究...
杨春生
上海交通大学微纳米科学技术研究...
郭忠元
上海交通大学微纳米科学技术研究...
闫肖肖
上海交通大学微纳米科学技术研究...
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刘景全
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 压电 微机电系统 MEMS 微针
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王亚军
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS 微电极阵列 PARYLENE 微针 遗传学
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杨春生
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
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郭忠元
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题:MEMS 植入 刺激器 二氧化硅 硅基片
发表作品
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芮岳峰
供职机构:上海交通大学微纳科学技术研究院
研究主题:生物医学工程技术 微针 电极 湿法刻蚀 MEMS
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闫肖肖
供职机构:南昌工程学院
研究主题:微针 压电 湿法刻蚀 生物医学工程技术 宽频
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陈迪
供职机构:上海交通大学
研究主题:微流控芯片 微机电系统 微电子机械系统 MEMS LIGA技术
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孙文强
供职机构:上海交通大学
研究主题:连续相 无机纳米粒子 水分散液 生物医学领域 血管性痴呆
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方华斌
供职机构:霍尼韦尔国际公司
研究主题:传感器 电压输出 磁芯 拾振器 PZT厚膜
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李以贵
供职机构:上海应用技术学院理学院
研究主题:微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
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