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张茜梅
作品数:
25
被引量:47
H指数:3
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中国工程物理研究院电子工程研究所
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发文基金:
中国工程物理研究院科学技术发展基金
中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金
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合作作者
袁明权
中国工程物理研究院电子工程研究...
孙远程
复旦大学信息科学与工程学院微电...
屈明山
中国工程物理研究院电子工程研究...
武蕊
中国工程物理研究院电子工程研究...
王海青
中国工程物理研究院电子工程研究...
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袁明权
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度传感器 压敏电阻 微机械加速度传感器 微电子机械系统 固有频率
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武蕊
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 键合 固有频率
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孙远程
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度传感器 固有频率 压敏电阻 微机械加速度传感器 侵彻
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屈明山
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 固有频率 键合
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王海青
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 固有频率 键合
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施志贵
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:硅 微电子机械系统 刻蚀 MEMS 掩膜
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高杨
供职机构:重庆大学
研究主题:微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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席仕伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
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刘娟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:掩模 高速通信 光刻技术 光刻系统 微电子机械系统
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王亚军
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:折叠波导 折叠波导行波管 太赫兹 行波管 折叠波导慢波结构
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