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卢建平

作品数：12 被引量：5H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

合作作者

领域

  • 13个电子电信
  • 9个理学
  • 7个金属学及工艺
  • 6个化学工程
  • 6个电气工程
  • 6个医药卫生
  • 5个生物学
  • 5个一般工业技术
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  • 3个机械工程
  • 3个自动化与计算...
  • 3个建筑科学
  • 3个交通运输工程
  • 3个环境科学与工...
  • 3个文化科学
  • 2个冶金工程
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个农业科学
  • 2个历史地理

主题

  • 13个光刻
  • 11个光刻胶
  • 10个无显影气相光...
  • 7个氧化硅
  • 7个氢氟酸
  • 7个二氧化硅
  • 7个分辨率
  • 7个分子
  • 5个氮化
  • 5个氮化硅
  • 5个抗蚀剂
  • 4个电路
  • 3个电机
  • 3个动态参数
  • 2个导通
  • 2个导通电阻
  • 2个低导通电阻
  • 2个电参数
  • 2个电参数测试
  • 2个电动机

机构

  • 13个清华大学
  • 2个教育部
  • 2个中国科学院
  • 1个北京大学
  • 1个辽宁师范大学
  • 1个中山大学
  • 1个国家自然科学...
  • 1个北京回龙观医...
  • 1个苏州广济医院

资助

  • 13个国家自然科学...
  • 8个北京市自然科...
  • 3个国家高技术研...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个国家教育部博...
  • 2个国防科技技术...
  • 2个国家科技支撑...
  • 1个广东省自然科...
  • 1个国家科技攻关...
  • 1个国家社会科学...
  • 1个教育部留学回...
  • 1个美国中华医学...
  • 1个清华大学环境...
  • 1个清华大学基础...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个国家杰出青年...
  • 1个国家科技重大...
  • 1个辽宁省教育厅...
  • 1个辽宁省高等学...
  • 1个博士科研启动...

传媒

  • 8个感光科学与光...
  • 7个高分子通报
  • 6个高分子学报
  • 5个清华大学学报...
  • 4个高等学校化学...
  • 4个半导体技术
  • 3个科学通报
  • 3个涂料工业
  • 3个电力电子技术
  • 3个中国电工技术...
  • 2个化学通报
  • 2个硅酸盐学报
  • 2个中国机械工程
  • 2个化工进展
  • 2个电气技术
  • 2个电力电子
  • 2个2001年全...
  • 2个2006中国...
  • 2个2008年中...
  • 2个面向21世纪...

地区

  • 12个北京市
  • 1个辽宁省
共 13 条 记 录，以下是 1-10
洪啸吟
供职机构：清华大学
研究主题：无显影气相光刻 涂料 光固化 光刻 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王培清
供职机构：清华大学
研究主题：无显影气相光刻 光刻胶 晶闸管 刻蚀 曝光量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈永麒
供职机构：清华大学
研究主题：无显影气相光刻 半导体二极管 成膜物质 氮化硅 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段生权
供职机构：清华大学
研究主题：无显影气相光刻 光刻胶 氮化硅 刻蚀 二氧化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈明
供职机构：清华大学理学院物理系
研究主题：紫外光固化 丙烯酸酯 多元醇 光致抗蚀剂 环氧-丙烯酸酯
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张斌
供职机构：清华大学
研究主题：多媒体信号处理 半导体二极管 二极管 信源 新闻事件
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李钟哲
供职机构：清华大学理学院化学系
研究主题：二氧化硅 无显影气相光刻 氟化氢 气相 光刻材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
游凤祥
供职机构：清华大学理学院化学系
研究主题：光致抗蚀剂 光刻 活性 抗蚀剂 微凝胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘丹
供职机构：清华大学
研究主题：孩子 父母 家庭教育 女儿 儿童
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王慧
供职机构：清华大学
研究主题：分子动力学模拟 碳纳米管 降解 基因工程菌 表面力仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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