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刘文军
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复旦大学
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电子电信
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合作作者
张卫
复旦大学
丁士进
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薛晓勇
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朱宝
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丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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薛晓勇
供职机构:复旦大学
研究主题:存储器 集成电路技术 电阻 EDRAM 动态随机存储器
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周鹏
供职机构:贵州大学
研究主题:存储器 百香果 石墨烯 集成电路制造 胶囊
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朱宝
供职机构:复旦大学
研究主题:浮栅 电容 硅 金属 TSV
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王永平
供职机构:复旦大学
研究主题:等离子体 互连工艺 阻挡层 电阻率 磁控溅射沉积
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卢红亮
供职机构:复旦大学
研究主题:铜互连 原子层淀积 扩散阻挡层 纳米材料 电镀铜
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姚鹃
供职机构:安琪酵母股份有限公司
研究主题:酵母 酵母抽提物 组合物 酵母细胞壁 发酵
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丁子君
供职机构:复旦大学
研究主题:前驱体 超低介电常数 超大规模集成电路 电场强度 氧杂
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陈秀兰
供职机构:山东大学
研究主题:海洋生物技术 深海 蛋白酶 编码基因 适冷蛋白酶
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