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靳京城
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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合作作者
金春水
中国科学院长春光学精密机械与物...
邓文渊
中国科学院长春光学精密机械与物...
李春
中国科学院长春光学精密机械与物...
常艳贺
中国科学院长春光学精密机械与物...
喻波
中国科学院长春光学精密机械与物...
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金春水
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
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邓文渊
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:深紫外 光学薄膜 激光 多层膜 元件
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李春
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题:深紫外 多层膜 光学薄膜 氟化物 激光损伤
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常艳贺
供职机构:长春理工大学光电工程学院
研究主题:深紫外 激光 氟化物 光学薄膜 光学常数
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喻波
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:极紫外 极紫外光刻 多层膜 MO/SI多层膜 EUV
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姚舜
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:极紫外 极紫外光刻 多层膜 深紫外 波段宽带
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王珣
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:极紫外 多层膜 紫外光刻 紫外波段 极紫外光刻
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龚学鹏
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:三维曲面 机械工程领域 光学元件 多点成形 数值模拟
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匡尚奇
供职机构:长春理工大学理学院
研究主题:极紫外 多层膜 膜系 宽光谱 量子进化算法
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周烽
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 六自由度 复现性 面形检测
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