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刘玉倩
作品数:
8
被引量:5
H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
理学
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合作作者
高建利
中国电子科技集团公司第四十五研...
侯为萍
中国电子科技集团公司第四十五研...
吕磊
中国电子科技集团公司第四十五研...
高津平
中国电子科技集团公司第四十五研...
刘永进
中国电子科技集团公司第四十五研...
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高建利
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:半导体设备 光刻版 软件设计 全自动 湿法
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所获资助
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吕磊
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:晶圆 传输系统 飞针测试 硅片 机械手设计
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所获资助
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侯为萍
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:光刻版 全自动 半导体 清洗机 PLC
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所获资助
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高津平
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:晶圆清洗 减薄 晶圆 QDR 节水阀
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宋文超
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:全自动 光刻版 半导体 自动设备 清洗机
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刘永进
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:光刻版 集成电路 全自动 单晶圆 喷头
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