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高建利
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:半导体设备 光刻版 软件设计 全自动 湿法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕磊
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:晶圆 传输系统 飞针测试 硅片 机械手设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
侯为萍
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:光刻版 全自动 半导体 清洗机 PLC
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高津平
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:晶圆清洗 减薄 晶圆 QDR 节水阀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋文超
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:全自动 光刻版 半导体 自动设备 清洗机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘永进
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:光刻版 集成电路 全自动 单晶圆 喷头
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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