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葛亮
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供职机构:
上海交通大学
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合作作者
李艳春
上海交通大学
姚锦元
上海交通大学
张丛春
上海交通大学
汪红
上海交通大学
丁桂甫
上海交通大学
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张丛春
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统技术 磁控溅射 双稳态 热电偶 温度传感器
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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姚锦元
供职机构:上海交通大学
研究主题:电镀 微机电系统 微加工 阴极 碳纳米管
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李艳春
供职机构:上海交通大学
研究主题:微结构 氨基磺酸盐 耐蚀性 镀镍层 微器件
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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