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钟飞
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
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自动化与计算机技术
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合作作者
时文华
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
王逸群
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
周健
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
曾春红
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
董艳
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
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周健
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:纳米阵列 线条 电子束光刻 电子束 数据量
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所获资助
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时文华
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:刻蚀 掩膜 光刻版 刻蚀工艺 硅刻蚀
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曾春红
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:高电子迁移率晶体管 衬底 探测器 太赫兹波 蝶形天线
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供职机构
所获资助
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董艳
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:铜 亚氯酸钠 纳米阵列 线条 微机电系统
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所获资助
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王逸群
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:电子束 磁性物质 磁场方向 表面等离激元 掩模
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