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苏伟军

作品数:5 被引量:11H指数:2
供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金:“八五”国家科技攻关计划更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 6个四川省
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7 条 记 录,以下是 1-7
王继红
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:望远镜 主镜 大气光学 数值仿真 光刻机
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胡淞
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:分步重复光刻机 调平 投影光刻机 套刻 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李展
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:原子束 星敏感器 微细图形 原子光刻 遮光罩
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚汉民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘业异
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 投影光刻机 投影光刻物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张津
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻机 IC 光刻 调平 亚半微米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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