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苏伟军
作品数:
5
被引量:11
H指数:2
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
“八五”国家科技攻关计划
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
胡淞
中国科学院光电技术研究所
王继红
中国科学院光电技术研究所
张津
中国科学院光电技术研究所
姚汉民
中国科学院光电技术研究所
李展
中国科学院光电技术研究所
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王继红
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:望远镜 主镜 大气光学 数值仿真 光刻机
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胡淞
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:分步重复光刻机 调平 投影光刻机 套刻 光刻
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研究领域
李展
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:原子束 星敏感器 微细图形 原子光刻 遮光罩
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供职机构
所获资助
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姚汉民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
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刘业异
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 投影光刻机 投影光刻物镜
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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张津
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻机 IC 光刻 调平 亚半微米
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