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徐哲
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清华大学
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自动化与计算机技术
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合作作者
徐文华
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胡浩
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赵凤飞
清华大学
王珍
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赵凤飞
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覃征
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徐文华
供职机构:清华大学
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胡浩
供职机构:清华大学
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李金星
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任博岩
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刘云峰
供职机构:清华大学
研究主题:加速度计 谐振式加速度计 微机械加速度计 硅 基底表面
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