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卢维尔

作品数：118 被引量：31H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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地区

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共 41 条 记 录，以下是 1-10
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李楠
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵丽莉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 离子注入 衍射效率 菲涅耳波带片 注入机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
解婧
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氧化锌薄膜 共掺 受主 原子层沉积 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屈芙蓉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 前驱体 PIII 薄膜封装 腔体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董亚斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氧化锌薄膜 共掺 受主 原子层沉积 锌源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘涛
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 近场光学 白光干涉 激光干涉 蓝宝石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冷兴龙
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 薄膜封装 前驱体 白光干涉 激光干涉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张阳
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氧化锌薄膜 共掺 氧化锌 锌源 受主
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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