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竺士炀
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供职机构:
复旦大学
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电子电信
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理学
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合作作者
黄宜平
常州大学
林成鲁
江苏石油化工学院
吴东平
复旦大学信息科学与工程学院电子...
李爱珍
常州大学
李金华
江苏石油化工学院
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黄宜平
供职机构:复旦大学
研究主题:MEMS 传感器 气体传感器 SOI 硅
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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李爱珍
供职机构:复旦大学
研究主题:SOI 多孔硅 压力传感器 CMOS SOI技术
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吴东平
供职机构:复旦大学
研究主题:金属半导体 场效应晶体管 肖特基结 金属硅化物 半导体
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李金华
供职机构:常州大学
研究主题:离子束增强沉积 溶胶-凝胶法 二氧化钒薄膜 SIMOX 氧化钒薄膜
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包宗明
供职机构:复旦大学
研究主题:MEMS 红外 硅 多孔硅 微机电系统
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王瑾
供职机构:复旦大学
研究主题:SOI 压力传感器 UHV/CVD 听觉诱发电位 高温压力传感器
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高剑侠
供职机构:中国科学院上海原子核研究所上海应用物理研究所
研究主题:总剂量辐照 PMOSFET SIMOX 阈电压 辐照特性
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茹国平
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:固相反应 NISI 微电子 SI 金属栅
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屈新萍
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 纳米压印技术
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