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张菊芳

作品数：45 被引量：62H指数：4
供职机构：中国科学院高能物理研究所更多>>
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伊福廷
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
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韩勇
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 掩模 微细加工 LIGA BSRF
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彭良强
供职机构：中国科学院
研究主题：LIGA技术 微细加工 电火花加工 LIGA 微细电火花加工
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黄军容
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 PMMA 微细加工 微细电火花加工 电火花加工
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谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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吴自玉
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：X射线 XANES 光栅 成像方法 单色器
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侯凤杰
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：硅 光纤阵列 光刻 雾化器 雾化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐鄂生
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：辐照 北京同步辐射装置 电子辐照 车载 辐照装置
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