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隋兆文
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供职机构:
中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
卢建国
中国科学院上海冶金研究所上海微...
熊斌
中国科学院上海冶金研究所上海微...
王素英
北京控制工程研究所
王渭源
中国科学院上海冶金研究所上海微...
黄玢
北京控制工程研究所
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卢建国
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 金属 热电堆 热电偶 氮化硅膜
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熊斌
供职机构:中国科学院广州能源研究所
研究主题:微机械 硅 基片 热电转换效率 片状
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王渭源
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
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王素英
供职机构:北京控制工程研究所
研究主题:传感器 硅 红外地平仪 热堆 双列
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黄玢
供职机构:北京控制工程研究所
研究主题:传感器 硅 红外地平仪 热堆 双列
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