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闫辰奇
作品数:
20
被引量:34
H指数:4
供职机构:
河北工业大学电子信息工程学院
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发文基金:
国家中长期科技发展规划重大专项
河北省自然科学基金
天津市自然科学基金
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学电子信息工程学院
王辰伟
河北工业大学电子信息工程学院
张金
河北工业大学电子信息工程学院
牛新环
河北工业大学电子信息工程学院
潘国峰
河北工业大学电子信息工程学院
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
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张金
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 去除速率 化学机械平坦化 化学机械抛光 抛光液
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牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
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李洪波
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:磨料 黏度 表面粗糙度 铜 化学机械抛光
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李炎
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:聚苯胺 防腐涂料 磨料 涂料 聚苯胺复合
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张燕
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 螯合剂 CU A/O F
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何平
供职机构:河北工业大学
研究主题:气敏传感器 丙酮 气敏元件 陶瓷管 压力传感器
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潘国峰
供职机构:河北工业大学
研究主题:气敏传感器 丙酮 气敏 气敏元件 陶瓷管
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唐继英
供职机构:天津冶金职业技术学院
研究主题:化学机械抛光 磨料 黏度 现场总线 监控画面
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