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沈德新

作品数：15 被引量：14H指数：2
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家攀登计划国家自然科学基金更多>>
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地区

  • 13个上海市
共 13 条 记 录，以下是 1-10
王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢建国
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 金属 热电堆 热电偶 氮化硅膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张健
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：定子 特性分析 压电超声马达 薄型 固有频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨根庆
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束 离子注入 小卫星 单粒子瞬态脉冲 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张保安
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：空穴 多晶硅薄膜 金属薄膜 金属 结点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董荣康
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：空穴 多晶硅薄膜 金属薄膜 金属 结点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨艺榕
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：各向异性腐蚀 镜面 微机械光开关 微机械 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戈肖鸿
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱建中
供职机构：中国科学院上海冶金研究所
研究主题：传感器 葡萄糖传感器 生物传感器 微电极 葡萄糖
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹美琴
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：氪 氙 混合稀土 贮氢合金 储氢合金
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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