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吴桂君

作品数：5 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

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  • 13个自动化与计算...
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  • 3个交通运输工程
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  • 2个建筑科学
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主题

  • 14个电子束
  • 14个电子束曝光
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  • 11个电子束曝光机
  • 11个曝光机
  • 9个信号
  • 9个掩模
  • 9个微细加工
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  • 7个单片
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  • 6个信号处理
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机构

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  • 2个中国科学院微...
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资助

  • 9个国家重点基础...
  • 9个国家自然科学...
  • 7个国家高技术研...
  • 6个中国科学院知...
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  • 4个中国科学院知...
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  • 1个浙江省科技攻...
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  • 1个浙江省重大科...
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传媒

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  • 13个第十一届全国...
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  • 9个电子工业专用...
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  • 5个纳米技术与精...
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  • 3个光学精密工程
  • 3个物理学报
  • 3个核技术
  • 3个光学学报

地区

  • 14个北京市
共 14 条 记 录，以下是 1-10
彭开武
供职机构：国家纳米科学中心
研究主题：透射电镜 电子束曝光 聚焦离子束 缩小投影电子束曝光 电子束曝光机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
顾文琪
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光机 聚焦离子束 液态金属离子源 电子束曝光 图形发生器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张福安
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光机 电子束曝光 亚微米 电子束 缩小投影电子束曝光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
薛虹
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光机 电子束曝光 图形发生器 电子束 扫描电子显微镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
初明璋
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：原子力显微镜 电子束 二硼化镁 进针 单质
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张今朝
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光 电子束曝光机 图形发生器 软件系统 图形文件格式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐晖
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光机 电子束曝光 高速摄影 放电过程 线切割加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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