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陈明星

作品数：11 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：环境科学与工程交通运输工程机械工程更多>>

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地区

  • 13个上海市
共 13 条 记 录，以下是 1-10
曾爱军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：起偏器 光刻机 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 照明系统 光刻 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张运波
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：投影光刻机 锥角 分光镜 反射镜 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程伟林
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光学元器件 接收器 对接 驱动模块
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王莹
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：锥角 聚焦透镜 图像传感器 投影光刻机 分光镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贺洪波
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光学薄膜 激光损伤阈值 镀膜 激光损伤 夹具
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方明
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：均匀性 激光等离子体 接收器 尾波 薄膜应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈立群
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：步进 光束 光刻机 激光输出 相位延迟
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨增辉
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：对接 边界面 包边工艺 包边 防撞装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林栋梁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：狭缝 组件 光刻机 多自由度 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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